一种微应力传感器的制备方法

本发明涉及一种微应力传感器的制备方法，包括以下步骤：(1)取柔性材料作为衬底，并加热到100℃及以上；(2)在加热后膨胀的衬底上转移覆盖一层二维相变材料，冷却至室温，使得衬底收缩，进而使得二维相变材料弯曲形成波浪形褶皱；(3)在形成波浪形褶皱的二维相变材料的两端分别生长一个金属电极，即完成微应力传感器的制备。与现有技术相比，本发明制备得到的传感器具有制作方法简便、稳定性好、易于集成，具有超高的灵敏度，应用前景广泛。