硫属元素化物溅射靶及其制备方法

在一个实施方案中，物理气相沉积设备包括相变材料溅射靶，该相变材料溅射靶包括主基质和至少一个附加相。该主基质包含来自元素周期表的第VI族的除氧以外的至少一种元素和来自元素周期表的第IV族或第V族的一种或多种元素。该附加相基本上均匀地分散在主基质中。