상전이 재료를 이용한 광 구동 마이크로 모터

본 발명은 전원을 내장할 필요가 없고, 에너지를 바꾸기 위한 복잡한 장치가 필요가 없어서 무선 에너지 공급 시스템으로 사용하기에 적당한 마이크로 모터를 제공하기 위하여, 반복적인 온도변화에 따라 결정질과 비정질 사이에서 가역 상전이를 일으킬 수 있는 칼코겐화물 재료로 이루어진 구조물을 포함하고, 상기 상전이가 일어날 때 발생하는 부피변화에 의한 구조물의 변형을 구동력으로 이용하는 마이크로 모터를 제공한다. 상기 부피변화는 적어도 하나의 레이저빔의 반복 조사, 파장 변화 또는 강약 변화에 의한 것이다.따라서, 본 발명에 따른 마이크로 모터를 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술에 이용함으로써, 고효율의 소형 MEMS를 실현시키고, 그에 따라 응용 분야를 넓히는데 기여할 수 있다.