一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法

专利类型: 
相变材料专利导航
公开(公告)号: 
CN112992759A
申请日: 
2020-10-16
申请局: 
CN
摘要: 
本发明涉及一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法。器件转移设备中设置了容纳腔室来容纳固液相变材料,每个容纳腔室都有与之对应的电热转换件,利用电热转换件将电能转换为热能,向固液相变材料提供热量,使得固液相变材料熔化,流至与容纳腔室连通的吸嘴,同时又通过通气道在容纳腔室内形成负压,避免液体从吸嘴口滴落,从而实现了通过液体张力进行器件吸附的效果,摒弃了真空器件吸附方案,打破了真空管尺寸对被转移器件尺寸的限制,扩大了器件转移设备的应用场景。
原始专利权人: 
重庆康佳光电技术研究院有限公司
当前专利权人: 
重庆康佳光电技术研究院有限公司